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准分子激光剥蚀的激光束能量分布均匀化,剥蚀均匀

发表时间:2022-12-08  |  点击率:87
  准分子激光剥蚀系统采用精细化控制单元,高能量的“平顶(homogenized-flat)”激光和飞速响应的“边对边(shot-to-shot)”技术带来高分辨率空间分析能力。创新的“动态剥蚀功能(fire-on-the-fly)”采用高分辨率XY移动平台技术,同时移动平台能够实时触发激光的发射,*应用于线扫描的深度剥蚀和元素分布图的分析。另外,高分辨率GigE真彩显微摄像观察技术,观察单元光学分辨率小于2μm,提供透射、反射和环形可调亮度的照明和十字交叉偏振系统,能够实时显示实时缩放的动态宽视野场,实现快速样品定位导航。结合足够高的剥蚀能量(50J/cm2),AnalyteHE能够轻松剥蚀各类样品甚至是具有挑战性的物质,包括高纯石英、弹性碳酸盐等样品,同时光束能量均匀化分布,以确保在整个光斑尺寸范围内和各种材料上均匀剥蚀。
  

 

  准分子激光剥蚀系统主要性能参数:
  
  1.超短193nm激光波长
  
  2.脉冲宽度<20ns
  
  3.足够剥蚀石英及萤石的能量密度,高达50J/cm2
  
  4.密闭气室
  
  5.激光束能量分布均匀化,剥蚀均匀
  
  6.标配100x100mm移动平台,可选150x150mm平台
  
  7.同步“动态剥蚀功能”实现精确的剥蚀深度控制
  
  8.独立的视频和激光光学控制单元,能够更好的查看样品剥蚀点
  
  9.剥蚀光斑范围1-170μm
  
  10.标配30个剥蚀光斑,光斑可定制
  
  11.标配HelExII双体积双气路涡流样品池
  
  准分子激光剥蚀Geostar软件,可实现与ICP连接测试,准分子激光最小束斑可达及微米,剥蚀坑底部平坦,形状规则,可利用激光共聚焦或原子力显微镜测量剥蚀坑体积。